ガスバリアフィルムの製造方法及び製造装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高島一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-118721
公開番号（公開出願番号）：特開平6-330318
出願日： 1993年05月20日
公開日（公表日）： 1994年11月29日
要約：

【要約】【構成】無機薄膜を形成する原子を励起状態とした後に放たれる当該薄膜組成の元素の特性X線の内、少なくとも一つの元素の特性X線強度を測定することにより当該薄膜の膜厚をモニターしながら、連続に走行するプラスチック基材上に無機薄膜を設けることを特徴とするガスバリアフィルムの製造方法。また、その製造装置。【効果】本発明のガスバリアフィルムの製造方法又は製造装置によれば、無色透明の薄膜及び複合酸化物薄膜等を用いたガスバリアフィルムに対しても膜厚がモニターでき、そのため長さ方向に均一な特性を有するガスバリアフィルムを作製することができる。

請求項（抜粋）：

無機薄膜を形成する原子を励起状態とした後に放たれる当該薄膜組成の元素の特性X線の内、少なくとも一つの元素の特性X線強度を測定することにより当該薄膜の膜厚をモニターしながら、連続に走行するプラスチック基材上に無機薄膜を設けることを特徴とするガスバリアフィルムの製造方法。

IPC (2件)：

C23C 14/54 , C23C 16/54

引用特許：

審査官引用 (13件)

特開平4-354872
特開平4-354872
特開平4-354872

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