特許

J-GLOBAL ID：200903030847602890

化学物質検出用光学センサー

発明者： クリストフ・ロート ,  ユアン・リウ ,  ヴェルナー・プラス ,  山本 哲 ,  本杉 賢司
出願人/特許権者： ヘキストジャパン株式会社
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-131975
公開番号（公開出願番号）：特開平6-341894
出願日： 1993年06月02日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：

【要約】【目的】 気体又は液体状の化学物質の検出用の光学センサーにおいて、光導波路として使用される導波用薄膜を提供する。【構成】 導波用薄膜を含むプレナー状光導波路並びに前記光導波路上に設けられた入射光用結合器及び出射光用結合器から成る化学物質検出用光学センサー。前記センサーは化学物質の吸着若しくは吸収又は化学物質との反応により、前記導波用薄膜の厚み又は屈折率が変化する。

請求項（抜粋）：

導波用薄膜を含むプレナー状光導波路並びに前記光導波路上に設けられた入射光用結合器及び出射光用結合器から成る化学物質検出用光学センサー。

IPC (3件)：

G01J 1/02 ,  G01V 9/04 ,  G01N 21/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-285844
  
• 特開平3-167429
  
• 特表平5-501155