特許

J-GLOBAL ID：200903030852169267

真空蒸着装置

発明者： 尾崎 伸二 ,  多田 勲 ,  中塚 篤
出願人/特許権者： 株式会社アルバック
代理人 (1件)： 飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-275088
公開番号（公開出願番号）：特開2005-036286
出願日： 2003年07月16日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：

【課題】 低コスト、高生産能率で絶縁材で成る帯材に金属蒸着膜を蒸着させること。【解決手段】 真空槽内に、冷却ローラ1と、該冷却ローラ1の周面に沿って絶縁材で成る帯材Mを搬送させる巻き取り機構と、前記冷却ローラ1と対向して配設される蒸発源装置とを備え、該蒸発源装置から蒸発されるアルミニウムを前記帯材Mの表面に蒸着させるようにした真空蒸着装置において、直流電源24と該直流電源24の一方の電極に一端が接続される抵抗体Rとから成るバイアス回路を備え、前記抵抗体Rの他端を前記冷却ローラ1に電気的に接続し、前記直流電源24の他方の電極を、前記帯材M上に蒸着された金属蒸着物mに電気的に接続させるようにした。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

真空槽内に、回転ローラと、該回転ローラの周面に沿って絶縁材で成る帯材を搬送させる巻き取り機構と、前記回転ローラと対向して配設される蒸発源装置とを備え、該蒸発源装置から蒸発される金属蒸発物を前記帯材の表面に蒸着させるようにした真空蒸着装置において、直流電源と該直流電源の一方の電極に一端が接続される抵抗体とから成るバイアス回路を備え、前記抵抗体の他端を前記回転ローラに電気的に接続し、前記直流電源の他方の電極を、前記帯材上に蒸着された金属蒸着物に電気的に接続させるようにした ことを特徴とする真空蒸着装置。

IPC (1件)：

C23C14/56

FI (1件)：

C23C14/56 B

Fターム (7件)：

4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA03 ,  4K029CA01 ,  4K029CA13 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特公昭63-12939号公報
  

審査官引用 (3件)

• 特開昭61-030669
  
• 両面蒸着フィルムの製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-311784   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開昭64-065254