放電装置及びプラズマ反応器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-203044
公開番号（公開出願番号）：特開2003-017297
出願日： 2001年07月04日
公開日（公表日）： 2003年01月17日
要約：

【要約】【課題】突起状の放電部(B) が早期に劣化するのを防止して、放電性能が早期に低下するのを防止するとともに、これをプラズマ反応器(20)などに適用した場合の処理性能の早期低下も防止する。【解決手段】互いに対向する第1電極(21)及び第2電極(22)の少なくとも一方が点状の放電部(B) を有する放電装置(A) において、放電部(B) に、導電性の液体を固化させることにより被膜(f) を形成するか、放電部(B) の少なくとも表面を導電性の液体により構成する。

請求項（抜粋）：

互いに対向する第1電極(21)及び第2電極(22)と、両電極(21,22) に放電電圧を印加するように接続された電源手段(24)とを備え、両電極(24)の少なくとも一方が点状の放電部(B) を有する放電装置であって、上記放電部(B) には、導電性の液体を固化させることにより被膜(f) が形成されていることを特徴とする放電装置。

IPC (8件)：

H05H 1/42 , B01D 53/14 , B01D 53/26 , B01D 53/32 , B01D 53/86 , B01J 19/08 , B01J 19/26 , F24F 7/00

FI (10件)：

H05H 1/42 , B01D 53/14 C , B01D 53/26 A , B01D 53/32 , B01J 19/08 B , B01J 19/08 C , B01J 19/08 E , B01J 19/26 , F24F 7/00 B , B01D 53/36 H

Fターム (33件)：

4D020AA09 , 4D020BA23 , 4D020CB08 , 4D020CB25 , 4D020CD10 , 4D048AA21 , 4D048AA22 , 4D048BA28X , 4D048BA41X , 4D048BB02 , 4D048CA07 , 4D048EA03 , 4D052AA08 , 4D052BA06 , 4G075AA03 , 4G075AA37 , 4G075AA51 , 4G075BA05 , 4G075CA03 , 4G075CA16 , 4G075CA18 , 4G075CA47 , 4G075CA51 , 4G075CA54 , 4G075DA02 , 4G075EB41 , 4G075EC01 , 4G075EC06 , 4G075EC21 , 4G075EC25 , 4G075EE05 , 4G075FA01 , 4G075FC11

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