特許

J-GLOBAL ID：200903030873105064

チップ測定用プローバ

発明者： 福永 伸壱
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-010644
公開番号（公開出願番号）：特開2001-201536
出願日： 2000年01月19日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：

【要約】【課題】 所望のダイのみの電気的特性を測定するチップ測定用プローバを提供することである。【解決手段】 本チップ測定用プローバ30は、筐体31内に、検査対象のチップCを上面に保持するステージ32、連結部33を介してステージを支持し、昇降させる昇降機構34、昇降機構を水平方向に移動する水平移動機構36、センサ38、及びプローブ針42の位置を検出するカメラ40を備えている。プローバは、チップに形成された半導体集積回路の電極等の所定部位に接触し、半導体集積回路の電極等を測定装置に導通させるプローブ針42を有する測定基板44をステージの上方に備える。ステージは、真空源に接続された真空吸着部46を上面に備え、真空吸着部によってチップを真空吸着して上面に保持する。真空吸着部は、チップの下面より小さな面積でチップの下面に相似する矩形状の吸着面を有し、真空源と連通する複数個の穴を吸着面に開口させ、穴を介してチップを吸着面に真空吸着する。

請求項（抜粋）：

プローブ針を有する測定基板と、測定基板の下方に設けられ、上面に被測定チップを保持して、自在に昇降し、水平移動するステージと、ステージを昇降させ、かつ水平移動させる昇降/水平移動機構と、昇降/水平移動機構を動作させて、被測定チップの所定部位をプローブ針に接触させるようにステージを位置決めする位置決め機構とを備える、チップ測定用プローバであって、被測定チップの下面より面積の小さい真空吸着面をステージの上面に備えていることを特徴とするチップ測定用プローバ。

IPC (3件)：

G01R 31/26 ,  G01R 1/06 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 31/26 J ,  G01R 1/06 E ,  H01L 21/66 B

Fターム (23件)：

2G003AF06 ,  2G003AG03 ,  2G003AG11 ,  2G003AG12 ,  2G003AG13 ,  2G003AG20 ,  2G003AH04 ,  2G011AA02 ,  2G011AA17 ,  2G011AC06 ,  2G011AC14 ,  2G011AE02 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106CA70 ,  4M106DD13 ,  4M106DD30 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ05