特許
J-GLOBAL ID：200903030874763804
モノシリック加速度計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-263209
公開番号（公開出願番号）：特開平8-178954
出願日： 1991年08月16日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】【目的】 加速度検知器とモノリシック的に構成された信号処理回路を含んでいる加速度計。【構成】 該検出器は一対のコンデンサによって形成された差動コンデンサを含む。各コンデンサは2つの電極を有し、一方は他のコンデンサに電気的に共通である。一方の電極(即ち、共通電極)は移動可能であり、適用された加速度に応答して他方の電極は静止的である。これらの電極は全て、シリコン基板の上に浮遊されたポリシリコン部材から形成されている。コンデンサの各々は電気的に並列に接続された複数の対の電極セグメントで形成され、移動可能電極の場合には調和して移動するように機械的に接続されている。基板が加速されると、これらの可動電極はコンデンサの一方のコンデンサのキャパシタンスが増大して一方、他方のコンデンサのキャパシタンスが減少するように移動する。これら2つのコンデンサはこの差動キャパシタンスを対応の電圧に変換する信号調節回路に接続されている。
請求項（抜粋）：
第1および第2のコンデンサ(14、16)であり、各々が2つの電極、第1および第2の電極(36、38、42、44)を有し、一方の電極(42、44)は静止的であり、他方の電極(36、38)は適用された加速度に応答して移動可能である、該2つの第1および第2のコンデンサを含むモノシリック・キヤパシタンス型・加速度検知器において、前記第1のコンデンサの前記第1の電極(36)は前記第2のコンデンサの第1の電極(38)に電気的に接続されて、差動コンデンサを形成し、これらの電極(36、38、42、44)は全てシリコン基板(22)上に懸下されたポリシリコン部材から形成され、前記移動可能な電極の移動に応答して加速度を表す信号を発生する、前記コンデンサの前記電極(36、38、42、44)に接続された前記基板(22)上の分解する回路(104、110)を備えたことを特徴とする加速度検知器。
引用特許：
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