特許

J-GLOBAL ID：200903030876775788

リニアモータ、これを有するステージ装置及び露光装置

発明者： 松木 敏雄
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-137229
公開番号（公開出願番号）：特開2003-333822
出願日： 2002年05月13日
公開日（公表日）： 2003年11月21日
要約：

【要約】【課題】 冷却効率を上げることで、投入動力を上げて、ステージの高速化と発生する熱の減少で、ステージの位置決め精度の向上を図る。【解決手段】 コイル1と、該コイル1をシート4,4’で覆い内部空間6に冷媒が供給される内側ジャケットとを有し、該内側ジャケットの外側にシート7,7’を配置することで外側ジャケットを付加して二重ジャケット構造とし、該冷媒の圧力に対して該二重ジャケットを補強する補強部材9,9’を該二重ジャケットの内部に設け、補強部材9,9’は内側ジャケットの内部空間6を形成するシート4,4’と外側ジャケットの内部空間8,8’を形成するシート7,7’との間に位置する。

請求項（抜粋）：

コイルと該コイルを覆い内部空間に冷媒が供給される内側ジャケットとを有し、該内側ジャケットに外側ジャケットを付加して二重ジャケット構造としたリニアモータにおいて、該冷媒の圧力に対して該二重ジャケットを補強する補強部材を該二重ジャケットの内部に設けたことを特徴とするリニアモータ。

IPC (4件)：

H02K 41/02 ,  B23Q 5/28 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H02K 41/02 Z ,  B23Q 5/28 B ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 A

Fターム (22件)：

5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031LA08 ,  5F031MA01 ,  5F031MA27 ,  5F031PA06 ,  5F031PA08 ,  5F031PA11 ,  5F031PA30 ,  5F046CC03 ,  5F046CC18 ,  5H641BB06 ,  5H641BB18 ,  5H641GG03 ,  5H641GG05 ,  5H641GG06 ,  5H641GG12 ,  5H641HH02 ,  5H641HH06 ,  5H641JB05 ,  5H641JB06 ,  5H641JB10