特許

J-GLOBAL ID：200903030878990511

ウエハー支持装置

発明者： 木村 憲雄 ,  小神野 宏明 ,  広瀬 政義
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-190644
公開番号（公開出願番号）：特開平5-121518
出願日： 1991年07月04日
公開日（公表日）： 1993年05月18日
要約：

【要約】【目的】 半導体ウエハーの移送、搬送等に用いられる搬送台あるいはハンドにおいて、高清浄度環境で用いられるガス放出の問題のないウエハー支持装置を提供する。【構成】 ウエハーを載置する支持台(1)に、はめ合わせ方式により弾性体で、ウェハーに対して摩擦係数の大きな材料のパッド(2)を設け、該パッドにウエハー(3)を搭載することによりウエハーの滑りを防止する。

請求項（抜粋）：

ウエハーを載置する支持台と、該支持台にはめ込み方式により取り付けられた、弾性体でかつウエハーとの摩擦係数の大きな材料からなるパッドとからなることを特徴とするウエハー支持装置。