特許

J-GLOBAL ID：200903030882751947

赤外線検出器

発明者： 白川 幸彦
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 三澤 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-190623
公開番号（公開出願番号）：特開平6-037361
出願日： 1992年07月17日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、低コストで検出感度の良好な赤外線検出器を提供することを目的とする。【構成】 本発明の赤外線検出器10は、基板1との間に空隙3を持つ橋梁型構造を呈するとともに、上部電極7、焦電効果を有する薄膜素子6及び下部電極5の積層体からなる赤外線検出単位素子11を、前記基板1上に複数個近接して配列し、各赤外線検出単位素子11の上部電極7、下部電極5を並列接続したものである。この構成により、生産性が良く低コスト化が可能であり、かつ、赤外線の集光面積が広く検出感度の良好な赤外線検出器10を提供することができる。

請求項（抜粋）：

基板との間に空隙を持つ橋梁型構造を呈するとともに、上部電極、焦電効果を有する薄膜素子及び下部電極の積層体からなる赤外線検出単位素子を、前記基板上に複数個近接して配列し、各赤外線検出単位素子の上部電極,下部電極を並列接続したことを特徴とする赤外線検出器。

IPC (3件)：

H01L 37/02 ,  G01J 1/02 ,  G01V 9/04

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-019727
  
• 特開平3-244168
  
• 特開平3-173458