特許
J-GLOBAL ID：200903030890918290
M×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-173965
公開番号（公開出願番号）：特開平10-082961
出願日： 1997年06月30日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：
【要約】【課題】 増加した傾斜角を有するM×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーのアレイ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 能動マトリックス310と、対になった側部アクチュエータ430及び中央アクチュエータ440を有する駆動構造体421と、駆動構造体の上に位置し、中央アクチュエータ440の遠位端側に片持ちされる薄膜ミラー456とを含み、側部アクチュエータ430の両端は能動マトリックス310に固定され、両アクチュエータは上部薄膜電極387、変形可能な薄膜部375、下部薄膜電極365及び弾性部355を有する。
請求項（抜粋）：
光投射システムに用いられるM×N(M及びNは正の整数)個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイであって、基板及びM×N個の接続端子を有する能動マトリックスと各々が、対になった側部アクチュエータ及び中央アクチュエータを有するM×N個の駆動構造体のアレイと、各々が、前記駆動構造体の上に位置し、前記各駆動構造体における前記中央アクチュエータの前記遠位端側に片持ちされるM×N個の薄膜ミラーのアレイとを有し、前記側部アクチュエータの両端は前記能動マトリックスに固定され、前記上部及び中央アクチュエータは、上部薄膜電極、電気的に変形可能な薄膜部、下部薄膜電極及び弾性部を有し、前記電気的に変形可能な薄膜部は、前記上部薄膜電極と前記下部薄膜電極との間に位置し、前記弾性部は、前記下部薄膜電極の下に位置し、前記側部アクチュエータの前記下部薄膜電極は、前記中央アクチュエータの下部薄膜電極と電気的に分離され、前記各側部アクチュエータの前記下部薄膜電極は、コンジットを通じて前記接続端子に電気的に接続され、前記中央アクチュエータの前記上部薄膜電極に電気的に接続されて信号電極として機能し、前記各側部アクチュエータの前記上部薄膜電極は、電気的に接地されており、前記中央アクチュエータの前記下部薄膜電極に電気的に接続されて共通バイアス電極として機能することを特徴とするM×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ。
IPC (3件)：
G02B 26/08
, G02B 5/08
, H04N 5/74
G02B 26/08 E
, G02B 5/08 E
, H04N 5/74 B
