特許
J-GLOBAL ID：200903030894991943
情報検出方法及びその装置としてのスピン偏極走査型トンネル顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-006938
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206434
出願日： 1997年01月17日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 従来装置では円偏光を左右に切り替えたときのトンネル電流の平均値を試料表面の凹凸情報として検出している。しかし、トンネル電流に突発的なノイズが混入した場合にトンネル電流の平均値が変動し正確な凹凸情報を取得できない。【解決手段】 探針への円偏光の照射を遮断して試料の一方向に往路の走査を行い、測定したトンネル電流から試料の凹凸情報を検出し、凹凸情報から上記探針と試料との離間距離を一定として上記探針へ円偏光を照射して試料の一方向に復路の走査を行い、測定したトンネル電流から上記試料の磁気情報を検出する。このように円偏光の照射を遮断して凹凸情報だけを検出し、その後、探針と試料とを一定距離として円偏光を照射して磁気情報を検出するため、トンネル電流にノイズが混入した場合にも凹凸情報と磁気情報とを完全に分離することができ、凹凸情報及び磁気情報夫々を正確に検出できる。
請求項（抜粋）：
試料と離間対向する探針に回転方向が順次反転する円偏光を照射して走査を行い、上記探針から試料に流れ込むトンネル電流を測定して、上記試料の磁気情報を検出する情報検出方法において、上記探針への円偏光の照射を遮断して上記試料の一方向に往路の走査を行い、測定したトンネル電流から上記試料の凹凸情報を検出し、上記凹凸情報から上記探針と試料との離間距離を一定として上記探針へ円偏光を照射して上記試料の一方向に復路の走査を行い、測定したトンネル電流から上記試料の磁気情報を検出することを特徴とする情報検出方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 B
, G01B 15/00
