ガラス検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金田暢之 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-579977
公開番号（公開出願番号）：特表2002-529698
出願日： 1999年10月14日
公開日（公表日）： 2002年09月10日
要約：

【要約】ガラス板の検査装置。該装置は、それぞれ光の層を形成する第1のレーザおよび第2のレーザと、第1の光検出系および第2の光検出系とを有する。第1のレーザは、レンズ系の焦点に位置する。第2のレーザは、第1のレーザよりもレンズ系から遠い距離に位置し、レンズ系の軸線から外れている。第1の光検出系は第1のレーザから光を受信し、第2の光検出系は第2のレーザから光を受信する。本検出装置は、レンズ系と検出系との間にガラス板を配置するようになっている。方法も記載されている。

請求項（抜粋）：

a)各々が光の面を生成する第1および第2のレーザと、 b)主光軸上に焦点を有する円筒レンズ系と、 c)第1の光検出系および第2の光検出系と、を有し、前記第1のレーザが前記レンズ系の焦点に位置し、前記第2のレーザが、前記第1のレーザよりも前記レンズ系から遠い距離に位置し、前記第2のレーザが、前記レンズ系の軸線から外れて位置し、かつ前記第2の検出系にて合焦し、前記第2の検出系が空間フィルタを有しており、前記第1の光検出系が前記第1のレーザから光を受信し、前記第2の光検出系が前記第2のレーザから光を受信し、前記レンズ系と前記両検出系との間にガラス板を配置するようになっている、ガラス板の検査装置

IPC (3件)：

G01N 21/896 , G01B 11/00 , G01B 11/30

FI (4件)：

G01N 21/896 , G01B 11/00 A , G01B 11/30 A , G01B 11/30 H

Fターム (44件)：

2F065AA01 , 2F065AA49 , 2F065AA61 , 2F065BB01 , 2F065BB15 , 2F065BB22 , 2F065CC00 , 2F065FF02 , 2F065GG04 , 2F065GG13 , 2F065HH05 , 2F065HH12 , 2F065HH13 , 2F065HH14 , 2F065HH15 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL08 , 2F065LL10 , 2F065LL12 , 2F065LL21 , 2F065LL43 , 2F065PP15 , 2F065QQ21 , 2F065QQ23 , 2F065SS03 , 2G051AA42 , 2G051AA85 , 2G051AB06 , 2G051AB07 , 2G051BA01 , 2G051BA10 , 2G051BB01 , 2G051BB05 , 2G051BB09 , 2G051CA03 , 2G051CA07 , 2G051CB02 , 2G051CC09 , 2G051DA01 , 2G051DA06 , 2G051EB01

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