レーザビーム加工装置およびレーザビーム加工装置用の焦点位置決め治具およびレーザビーム集光直径測定治具

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-148342
公開番号（公開出願番号）：特開平10-328867
出願日： 1997年06月05日
公開日（公表日）： 1998年12月15日
要約：

【要約】【課題】被加工物が極薄板の場合でも、アシストガスの噴出圧力により焦点位置が変化せず微細かつ高精度な加工を安定して行うこと。【解決手段】板状を被加工物Wに張力を与えて保持し、被加工物Wを軸方向に駆動する駆動台・被加工物台(11x,11y,46)と、レーザビームLの集光レンズ3を有し、被加工物Wに対するレーザビームLの焦点合わせ方向に軸移動するレーザ加工ヘッド1と、レーザビーム照射用のノズル2を一体的に有する上部被加工物押さえ部材42と、レーザ加工ヘッド1と上部被加工物押さえ部材42とを焦点合わせ方向に相対変位可能に接続するベローズ40と、ノズル2の中心位置に対応する位置に固定配置された下部固定定盤・高滑性板(47,48)とを設け、レーザビーム加工位置付近で、被加工物Wを上部被加工物押さえ部材42と下部固定定盤・高滑性板(47,48)とで挟み込み保持する。

請求項（抜粋）：

板状の被加工物に張力を与えて保持し、被加工物を軸方向に移動させる駆動台と、レーザビームの光学的集光手段を有し、被加工物に対するレーザビームの焦点合わせ方向に軸移動するレーザ加工ヘッドと、レーザビーム照射用のノズルを一体的に有する上部被加工物押さえ部材と、前記レーザ加工ヘッドと前記上部被加工物押さえ部材とを前記焦点合わせ方向に相対変位可能に接続する中空伸縮接続部材と、前記ノズルの中心位置に対応する位置に固定配置された下部固定定盤と、を有し、レーザビーム加工位置付近で、被加工物を前記上部被加工物押さえ部材と前記下部固定定盤とで挟み込み保持することを特徴とするレーザビーム加工装置。

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