特許

J-GLOBAL ID：200903030900588919

結晶育成装置

発明者： 畠中 浩之 ,  中原 博
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西田 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-102764
公開番号（公開出願番号）：特開平6-305873
出願日： 1993年04月28日
公開日（公表日）： 1994年11月01日
要約：

【要約】【目的】 駆動部や育成結晶に機械的な負担をかけることなく、結晶を均一に成長させることができる結晶育成装置を提供する。【構成】 結晶育成容器2の中心部に入力軸3を設けて、この入力軸3の下端に公転機構4を結合する。そして、この公転機構4によって回転駆動されることにより入力軸3の回りに公転し且つその公転に伴って自らの軸心の回りに自転する載置部材5を設ける。

請求項（抜粋）：

結晶育成容器内に収容された溶液の中で結晶を回転させながら育成する結晶育成装置であって、上記容器内に先端側が位置する入力軸と、この入力軸の先端側に結合されて入力軸とともにその軸心回りに回転する公転機構と、この公転機構によって回転駆動されることにより上記容器内における入力軸の回りに公転し且つその公転に伴って自らの軸心の回りに自転する結晶載置用の載置部材とを有することを特徴とする結晶育成装置。