特許

J-GLOBAL ID：200903030904440908

赤外光感受性エッチングまたは鍍金用レジスト

発明者： 高崎 龍一郎
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-141085
公開番号（公開出願番号）：特開2001-324803
出願日： 2000年05月15日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：

【要約】【課題】 高感度で安定性に優れ、かつ酸素遮断膜を必要としない赤外光感受性のエッチングまたは鍍金用レジストを提供する。【解決手段】 エチレンオキサイドまたは/及びプロピレンオキサイドを構造単位として有する(メタ)アクリレートモノマー、赤外吸収色素、及び重合開始剤を含有する赤外光感受性エッチングまたは鍍金用レジスト。

請求項（抜粋）：

エチレンオキサイドまたは/及びプロピレンオキサイドを構造単位として有する(メタ)アクリレートモノマー、赤外吸収色素、及び重合開始剤を含有する赤外光感受性エッチングまたは鍍金用レジスト。

IPC (11件)：

G03F 7/027 502 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/46 ,  C08F 4/52 ,  C08F 20/30 ,  C08F290/06 ,  C08K 5/00 ,  C08L 71/00 ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/029 ,  H05K 3/06

FI (11件)：

G03F 7/027 502 ,  C08F 2/44 B ,  C08F 2/46 ,  C08F 4/52 ,  C08F 20/30 ,  C08F290/06 ,  C08K 5/00 ,  C08L 71/00 B ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/029 ,  H05K 3/06 H

Fターム (85件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB15 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC32 ,  2H025BC34 ,  2H025BC42 ,  2H025CA00 ,  2H025CA50 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA10 ,  2H025FA17 ,  4J002CH051 ,  4J002ER006 ,  4J002ET006 ,  4J002FD096 ,  4J002GP03 ,  4J011AA05 ,  4J011PB25 ,  4J011PC02 ,  4J011PC08 ,  4J011QA25 ,  4J011QA38 ,  4J011QB16 ,  4J011QB19 ,  4J011SA01 ,  4J011SA21 ,  4J011SA22 ,  4J011SA64 ,  4J011SA74 ,  4J011SA76 ,  4J011SA78 ,  4J011SA82 ,  4J011SA85 ,  4J011UA06 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J015DA14 ,  4J027AC02 ,  4J027AC03 ,  4J027AC04 ,  4J027AC06 ,  4J027AE03 ,  4J027AE07 ,  4J027AJ08 ,  4J027BA24 ,  4J027CB03 ,  4J027CB08 ,  4J027CB10 ,  4J027CC04 ,  4J027CD10 ,  4J100AL08P ,  4J100AL66P ,  4J100AL67P ,  4J100AL67Q ,  4J100BA04P ,  4J100BA05P ,  4J100BA06P ,  4J100BA08P ,  4J100BA09P ,  4J100BA38Q ,  4J100BA64P ,  4J100BC43P ,  4J100BC45P ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100JA38 ,  5E339AD01 ,  5E339AD03 ,  5E339BC02 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CE12 ,  5E339CE16 ,  5E339CE18 ,  5E339CE19 ,  5E339CE20 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339DD03