特許
J-GLOBAL ID：200903030904883192
陽極酸化装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-323837
公開番号（公開出願番号）：特開平6-146081
出願日： 1992年11月10日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：
【要約】【目的】電解液槽を簡素な小型槽とし、装置の設備費を低減して基板1枚当りの導電膜の酸化処理コストを下げる。【構成】導電膜を形成した基板1を1枚ずつ電解液槽21の電解液22中に浸漬して前記導電膜の陽極酸化を行なう。
請求項（抜粋）：
基板上に形成した導電膜を電解液中において陽極酸化する装置であって、電解液槽と、導電膜を形成した基板を1枚ずつ前記電解液槽に搬入搬出する基板搬送系とからなることを特徴とする陽極酸化装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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