特許

J-GLOBAL ID：200903030908988223

温度測定装置

発明者： 柳川 周作
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-326325
公開番号（公開出願番号）：特開平10-170343
出願日： 1996年12月06日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】 光照射型熱処理装置内の基板温度測定において、基板が汚染される虞をなくし、様々な膜構造や膜質、不純物濃度等を有す基板の温度を精度よく、安定に測定できる温度測定装置を提供する。【解決手段】 加熱炉10内に載置された基板に、高熱伝導性物質の接触子2を接触させ、この接触子2からの光エネルギーを導光管3で放射温度計5に導き、温度を測定する。

請求項（抜粋）：

加熱炉内に載置された被加熱物に、熱伝導性物質からなる接触子を接触させ、前記接触子の温度を放射温度計を用いて測定することを特徴とする温度測定装置。

IPC (4件)：

G01J 5/02 ,  G01K 1/16 ,  H01L 21/22 501 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01J 5/02 K ,  G01K 1/16 ,  H01L 21/22 501 N ,  H01L 21/66 T