特許

J-GLOBAL ID：200903030911107645

振動ジャイロ

発明者： 林 誠 剛 ,  自 露 幸 祐 ,  橘 高 敏 彦
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 岡田 全啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-215184
公開番号（公開出願番号）：特開平7-091956
出願日： 1993年08月06日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：

【要約】【目的】 温度変化による出力電圧の変化の小さい振動ジャイロを提供する。【構成】 この振動ジャイロ10は、恒弾性材料からなる正3角柱状の振動体12を含む。振動体12の3つの側面の中央には、3つの圧電素子14がそれぞれ形成される。各圧電素子14としては、温度変化による周波数の変化率がたとえば30ppm/°C以下と小さいものが用いられる。

請求項（抜粋）：

恒弾性材料からなる振動体、および前記振動体の表面に形成され、セラミックスからなる圧電層を有する圧電素子を含む振動ジャイロにおいて、前記圧電素子として温度変化による周波数の変化率の小さい圧電素子が用いられたことを特徴とする、振動ジャイロ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/09

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-294750   出願人：赤井電機株式会社