特許
J-GLOBAL ID：200903030925803954
位置検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-237523
公開番号（公開出願番号）：特開2004-077267
出願日： 2002年08月16日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：
【課題】非接触測定の手段として光ビームが用いられる場合に生じる、空気の揺らぎや擾乱による測定誤差を低減し、2点間の位置ズレを高精度で検出することのできる位置検出手段を提供すること。【解決手段】位置検出手段10を、光源12から照射された光をコーナーキューブ22に向けて円形に走査し、コーナーキューブ22の稜線部22Aにおける反射光量の低下ポイントを受光手段28で検出し、データー処理手段32によって走査円の中心Оとコーナーキューブの中心22Cとのズレ量を算出して、対象物の位置ズレを求めるように構成した。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
対象物の基準位置からのズレ量を検出する位置検出装置において、
光源と、
前記基準位置側又は対象物側に設けられ、前記光源から発光された光を円形に走査する走査手段と、
前記対象物側又は基準位置側に設けられ、前記走査手段によって円形に走査された光を反射するコーナーキューブと、
該コーナーキューブで反射された光を受光する受光手段と、
該受光手段で受光された受光データを解析するデーター処理手段と、
を有し、
前記データー処理手段では、円形に走査された光が前記コーナーキューブの稜線部又はコーナーキューブ前面に形成された遮光線において反射光量が低下することを利用して、前記走査される円の中心と前記コーナーキューブの中心とのズレ量を求めることによって、対象物の位置のズレ量を検出することを特徴とする位置検出装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (17件)：
2F065AA03
, 2F065AA09
, 2F065FF44
, 2F065GG04
, 2F065GG07
, 2F065HH03
, 2F065JJ18
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL12
, 2F065LL13
, 2F065LL17
, 2F065LL46
, 2F065LL47
, 2F065MM15
, 2F065QQ07
, 2F065QQ08
