特許
J-GLOBAL ID：200903030937611260
インクジェット式記録ヘッドおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-267206
公開番号（公開出願番号）：特開平11-105279
出願日： 1997年09月30日
公開日（公表日）： 1999年04月20日
要約：
【要約】【課題】 高解像度化に対応できるインクジェット記録ヘッドを提供する。【解決手段】 本インクジェット式記録ヘッドの製造方法は、(A)光透過性を備えた基台(10)に、光の照射により剥離を生ずる剥離層(11)を形成する工程、(B)剥離層(11)の上に、共通電極膜(3)を形成する工程、(C)共通電極膜(3)上に、圧電体素子(4)を複数形成する工程、(D)1以上の圧電体素子(4)を内部に納める蓋状構造を備え、その内部がインクのリザーバ(51)を形成するリザーバ部材(5)を形成する工程、(E)基台(10)側から剥離層(11)に所定の光を照射することによって、剥離層(11)に剥離を生じさせ、基台(10)を剥離する工程、(F)基台が剥離された共通電極膜(3)に、圧力室(21)が複数設けられた圧力室基板(2)を、各圧力室(21)を密閉するように貼り合わせる工程、を備える。圧電体素子形成と別工程で薄い圧力室基板を製造し、最後にそれらを貼り合わせることができるので、高解像度に対応したヘッドを製造できる。
請求項（抜粋）：
圧電体素子に電圧を印加して体積変化を生じさせることによって圧力室に設けられたノズルからインクを吐出可能に構成されたインクジェット式記録ヘッドにおいて、インクを吐出可能なノズルを有する前記圧力室を、各ノズルが同一方向に開口するよう形成して構成された圧力室基板と、前記ノズルが設けられた面と異なる前記圧力室基板の一面に、各前記圧力室を密封するように形成された共通電極膜と、前記共通電極膜上の各前記圧力室に対応する位置に各々形成された、圧電体薄膜および上電極を含む圧電体素子と、1以上の前記圧電体素子を内部に納める蓋状構造を備え、その内部がインクのリザーバを形成するリザーバ部材と、を備えたことを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
