特許

J-GLOBAL ID：200903030937950871

酸化錫膜の製造方法

発明者： 山本 雄一 ,  竹田 諭司 ,  高橋 基樹
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-245782
公開番号（公開出願番号）：特開2001-072415
出願日： 1999年08月31日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
要約：

【要約】【課題】膜中に異質物や欠陥を生じさせることなく、所望のシート抵抗値の酸化錫膜を簡便な方法で得ることができる酸化錫膜の製造方法の提供。【解決手段】基体4上に酸化錫膜2を成膜し、次いでLi+、Na+およびK+からなる群から選ばれる1種のイオンを含む塗布剤1を塗布し、その後熱処理して、シート抵抗値が上昇した酸化錫膜を得ることを特徴とする酸化錫膜の製造方法。

請求項（抜粋）：

基体上に酸化錫膜を成膜し、次いでLi+、Na+およびK+からなる群から選ばれる1種のイオンを含む塗布剤を塗布し、その後熱処理して、シート抵抗値が上昇した酸化錫膜を得ることを特徴とする酸化錫膜の製造方法。

IPC (3件)：

C01G 19/02 ,  H01C 7/00 ,  H01C 17/06

FI (3件)：

C01G 19/02 C ,  H01C 7/00 C ,  H01C 17/06 M

Fターム (9件)：

5E032AB10 ,  5E032BA15 ,  5E032BB20 ,  5E032CC08 ,  5E032TA06 ,  5E033AA03 ,  5E033AA56 ,  5E033BB02 ,  5E033BD01