特許

J-GLOBAL ID：200903030951466311

シール装置及びそれを備えた吸着装置

発明者： 森野 裕之
出願人/特許権者： ダイキン工業株式会社
代理人 (2件)： 小野 由己男 ,  加藤 秀忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-330919
公開番号（公開出願番号）：特開2004-100940
出願日： 2002年11月14日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：

【課題】本発明の課題は、吸着ロータの外周部に対向して周方向にわたって配置されたボルトの本数を少なくすることにある。【解決手段】このシール装置8は、除湿ロータ2の端面2a,2bに接触してシールを行うシール装置であって、シール部材31と、支持部材37と、固定手段39とを備えている。シール部材31は、除湿ロータ2の端面2a,2bに隣接して配置され、先端部31aが端面2a,2bに弾性変形して圧接可能であり、取付部31bが除湿ロータ2の端面2a,2bから離れる方向に延びる板状の部材である。支持部材37は、シール部材31の取付部31bを支持し、シール部材31より高い剛性を有しかつシール部材31の厚み以上の厚みを有する板状の部材である。固定手段39は、シール部材31及び支持部材37を取付座20,21との間で狭持して固定するためのものである。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

回転自在に設けられた吸着ロータを有する吸着装置の取付座に装着され、前記吸着ロータの吸着面に接触してシールを行うシール装置であって、 前記吸着ロータの吸着面に隣接して配置され、先端部が前記吸着面に弾性変形して圧接可能であり、取付部が前記吸着ロータの吸着面から離れる方向に延びる板状のシール部材と、 前記シール部材の取付部を支持し、前記シール部材より高い剛性を有しかつ前記シール部材の厚み以上の厚みを有する板状の支持部材と、 前記シール部材及び支持部材を前記取付座との間で狭持して固定するための固定手段と、 を備えたシール装置。

IPC (6件)：

F16J15/16 ,  B01D53/06 ,  B01D53/26 ,  F16J15/32 ,  F24F1/02 ,  F24F3/147

FI (6件)：

F16J15/16 B ,  B01D53/06 A ,  B01D53/26 101B ,  F16J15/32 311P ,  F24F1/02 451 ,  F24F3/147

Fターム (25件)：

3J006AE19 ,  3J006AE38 ,  3J006CA04 ,  3J043AA17 ,  3J043BA02 ,  3J043CA02 ,  3J043CB14 ,  3J043DA09 ,  3L053BC03 ,  4D012CA01 ,  4D012CA09 ,  4D012CC05 ,  4D012CD01 ,  4D012CG01 ,  4D012CK05 ,  4D012CK08 ,  4D052AA08 ,  4D052CB00 ,  4D052DA01 ,  4D052DA02 ,  4D052DB01 ,  4D052FA03 ,  4D052HA01 ,  4D052HA21 ,  4D052HA35