特許
J-GLOBAL ID：200903030953160066
研磨装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
長門 侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-133876
公開番号（公開出願番号）：特開平11-320358
出願日： 1998年05月15日
公開日（公表日）： 1999年11月24日
要約：
【要約】【課題】 ワークの研磨加工の能率の向上を図ると共に、両面の平行度の精度の向上を図るようにした研磨装置を提供する。【解決手段】 砥石32の砥石面32aに対して周方向に等間隔で複数のワーク回転機構11、12を配置して、砥石面32aを複数のワーク70、70の被加工面70A、70Aに略均等に当接させる。これにより、ワーク70、70の加工抵抗が砥石面32aの周方向に略均等に加わり、砥石32の砥石面32aや回転軸31の傾きが防止され、ワーク70、70の被加工面70A、70Aの平面度が向上する。
請求項（抜粋）：
円板状のワークを回転させるワーク回転機構と、砥石を回転させて砥石面を前記ワークの被加工面に当接させて研磨する砥石駆動機構とを備えた研磨装置において、前記砥石の砥石面に対して周方向に前記ワーク回転機構を複数等分配置し、前記砥石面を前記複数のワークの各被加工面に均等に当接させることを特徴とする研磨装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 7/04 A
, G11B 5/84 A
