特許

J-GLOBAL ID：200903030957897756

圧電モータ用振動体の製造方法

発明者： 岡野 宏 ,  伊藤 浩信 ,  春日 政雄
出願人/特許権者： セイコー電子工業株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-098333
公開番号（公開出願番号）：特開平5-300765
出願日： 1992年04月17日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：

【要約】【目的】 圧電モータの小型化、高性能化を達成するための高精度かつ微細加工を容易に行うことが出来るような圧電モータ用振動体の製造方法を得ること。【構成】 圧電モータ用振動体は、形状加工による弾性体材料の外形及び厚みの荒加工を行い(図2(a)、(b)、(c))、次に、弾性体材料上に電極24の形成(図2(d))、圧電材料PZT25の形成(図2(e))、電極26の形成(図2(f))、電極27の形成(図2(g))を行う。さらに、弾性体仕上げ加工及び弾性体材料からの切り放し加工(図2(h))を同時におこない、圧電モータ用振動体を得る。

請求項（抜粋）：

圧電素子と弾性体で振動体を構成し、該圧電素子に設けられた複数の電極パターン間に電圧を印加することで該弾性体を変位させ、この弾性体に接触する回転体を回転させる圧電モータ用振動体の製造方法において、弾性変形可能な弾性体材料を形状加工する工程と、前記形状加工を行った弾性体材料の一方の面に分極駆動共用電極を形成する工程と、前記分極駆動共用電極面に圧電材料を形成する工程と、前記圧電材料面に分極用電極を形成する工程と、前記分極用電極の表面に駆動用電極を形成する工程、もしくは、前記分極用電極を剥離した後、駆動用電極を形成する工程と、前記弾性体材料を弾性体としての所定形状に形成するとともに基台から該弾性体を分離する為のエッチング工程と、を有することを特徴とする圧電モータ用振動体の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-194581
  
• 特開平4-000282
  
• 特開平4-067786
  
• 特開昭63-290175