特許
J-GLOBAL ID：200903030961538612
走査型顕微鏡用プローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-323161
公開番号（公開出願番号）：特開平5-157508
出願日： 1991年12月06日
公開日（公表日）： 1993年06月22日
要約：
【要約】【目的】長時間観察を中断させることなく、異なるプローブで素速く測定を再開することのできる、測定の効率のよいプローブを提供する。【構成】1軸を中心に回転可能な本体と、前記本体の周囲に延設された複数の可撓性プレートと、前記各複数のプレートの先端に立設された針状チップを有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
1軸を中心に回転可能な本体と、前記本体の周囲に延設された複数の可撓性プレートと、前記各複数のプレートの先端に立設された針状チップを有することを特徴とする走査型顕微鏡用プローブ。
IPC (2件)：
引用特許：
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