特許
J-GLOBAL ID：200903030969251452
シランを含む副産液体流から微粒ケイ素の分離方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ウオーレン・ジー・シミオール
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-106661
公開番号（公開出願番号）：特開平6-166512
出願日： 1992年04月24日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：
【要約】【目的】 シランを含有する副産液体流から微粒ケイ素を分離する方法を提供する。【構成】 シランと微粒ケイ素から成る副産液体流を加熱帯域に噴霧して液体シランを気化させ、微粒ケイ素を乾燥させる。乾燥した微粒ケイ素は濾過又は他の適当な手段によって気体シランから分離する。分離された固相および気相は副産物流を生成するプロセスへのフイードとして又は他のプロセス用フイードとして使用される。
請求項（抜粋）：
(A)シランと微粒ケイ素から成る副産液体流を霧化する工程、(B)霧化された副産液体流をシランが気体シランに転化するのに十分な温度に保持された加熱帯域に通す工程、および(C)気体シランを微粒ケイ素から分離する工程、から成ることを特徴とするシランを含む副産液体流から微粒ケイ素の分離方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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