特許
J-GLOBAL ID：200903030969779988
基板保管装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-166502
公開番号（公開出願番号）：特開平7-133004
出願日： 1993年06月11日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：
【要約】【目的】 停電時においても基板を所望の清浄雰囲気中に保持することができるような、基板の保管装置を提供することを目的とする。【構成】 本発明の基板保管装置は、基板を保管するための保管棚1と、少なくとも前記保管棚1を収納するチャンバー1Aと、前記チャンバー1A内の雰囲気を清浄に保つためのクリーンユニット8とを備えた基板保管装置において、前記クリーンユニット8の停止時に、ガスを前記チャンバー内に供給し、前記チャンバー内の圧力を前記チャンバー外部の圧力に対して高い状態に維持するガス供給手段5を有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板を保管するための保管棚と、少なくとも前記保管棚を収納するチャンバーと、前記チャンバー内の雰囲気を清浄に保つためのクリーンユニットとを備えた基板保管装置において、前記クリーンユニットの停止時に、ガスを前記チャンバー内に供給し、前記チャンバー内の圧力を前記チャンバー外部の圧力に対して高い状態に維持するガス供給手段を有することを特徴とする基板保管装置。
IPC (4件)：
B65G 1/00 521
, F24F 7/06
, H01L 21/027
, H01L 21/68
