特許
J-GLOBAL ID：200903030991815912
走査型電子顕微鏡装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-214292
公開番号（公開出願番号）：特開2004-319518
出願日： 2004年07月22日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：
【課題】 光学顕微鏡の試料室内での占有空間をなくし、試料室の内部空間を有効に利用する様にすると共に、レーザ光線により走査型電子顕微鏡の走査中心位置を示し、観察部位の特定作業を容易にする。 【解決手段】 走査型電子顕微鏡3に設けられた試料室4の外に該走査型電子顕微鏡の光軸と試料5上で交差可能な光軸を有する長焦点距離光学顕微鏡19を設け、長焦点距離光学顕微鏡による画像の移動方向と走査型電子顕微鏡による画像の移動方向とが一致する様に構成し、走査型電子顕微鏡の光軸途中からレーザ光線を走査型電子顕微鏡の光軸に合致させ試料に向かって照射するレーザ光線照射手段36を設けた。 【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
走査型電子顕微鏡に設けられた試料室の外に該走査型電子顕微鏡の光軸と試料上で交差可能な光軸を有する長焦点距離光学顕微鏡を設け、長焦点距離光学顕微鏡による画像の移動方向と走査型電子顕微鏡による画像の移動方向とが一致する様に構成し、走査型電子顕微鏡の光軸途中からレーザ光線を走査型電子顕微鏡の光軸に合致させ試料に向かって照射するレーザ光線照射手段を設けたことを特徴とする走査型電子顕微鏡装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (7件)
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