特許
J-GLOBAL ID:200903030994250908
セッター
発明者:
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
渡邉 一平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-031568
公開番号(公開出願番号):特開平7-243771
出願日: 1994年03月01日
公開日(公表日): 1995年09月19日
要約:
【要約】【構成】 ムライトとコージェライトの微粒粉または粗粒を、重量比で20:80〜80:20の割合で配合し、800°Cにおける熱膨張率が0.25%以下であるセッター。セラミック質粗粒を、ムライトとコージェライトの混合微粉を結合材として結合したセッターで、ムライトとコージェライトを、重量比で20:80〜80:20の割合で配合し、800°Cにおける熱膨張率が0.25%以下であるセッター。【効果】 耐スポーリング性が向上し、微小クラックの発生が抑えられ、セッターの寿命を延ばすことができる。
請求項(抜粋):
Al2O3・SiO2系鉱物からなり、ムライトとコージェライトの総量が全体の50%以上であるセッターにおいて、ムライト粗粒とコージェライト微粒の配合比が重量で20:80〜80:20であり、800°Cにおける熱膨張率が0.25%以下であることを特徴とするセッター。
IPC (3件):
F27D 3/12
, C04B 35/18
, C04B 35/64
FI (2件):
C04B 35/18 Z
, C04B 35/64 J
前のページに戻る