特許

J-GLOBAL ID：200903030995101663

ディスク貼り合わせにおける2枚のディスクの移載方法、ディスク貼り合わせ装置およびその装置における移載機構

発明者： 柏木 俊雄 ,  山口 勝美 ,  琴寄 正彦 ,  西村 博信
出願人/特許権者： オリジン電気株式会社
代理人 (1件)： 川久保 新一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-153460
公開番号（公開出願番号）：特開平9-320121
出願日： 1996年05月24日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】 回転装置が高速回転しない時間を短くすることによって、回転装置の効率が向上し、ディスク貼り合わせ装置全体の効率を向上できるディスク貼り合わせ方法および装置を提供することを目的とするものである。【解決手段】 第1のディスクと第2のディスクとを貼り合わせて1枚のディスクを製造する場合、第2のディスクを吸着する吸着手段と、この吸着手段とともに運動可能に配置され、放射方向に拡がり、第1のディスクの内径端をチャックする複数の爪部を具備するメカチャック手段とを有するものである。

請求項（抜粋）：

第1のディスクと第2のディスクとを接着剤によって貼り合わせて1枚のディスクを製造する装置において、上記第2のディスクを吸着する吸着手段と;この吸着手段とともに運動可能に配置され、放射方向に運動し、上記第1のディスクの内径端をチャックする複数の爪部を具備するメカチャック手段と;を有することを特徴とするディスク貼り合わせ装置における移載機構。