電子顕微鏡用撮像装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：磯村雅俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-263319
公開番号（公開出願番号）：特開平8-124511
出願日： 1994年10月27日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】広視野の電子顕微鏡像の観察と記録を、動画と静止画の両モードで高感度かつ高解像度で行える電子顕微鏡用撮像装置を実現する。【構成】電子/光変換用シンチレータ1を含む光学系、信号電荷のアバランシェ増倍を用いた撮像素子及び間欠走査モードとスロースキャンモードを具備した撮像素子制御系5等により、高性能な電子顕微鏡用撮像装置を構成する。また、光導電膜における信号電流を検出するための電子線の走査モードとして、1画面の走査と停止を一定時間で繰り返す間欠走査モードと、1画面分の走査時間が通常のテレビ走査時間より遅く停止時間を持たないスロースキャンモードの一方を備える。また、偏向コイル12により、撮像装置の受光面上に投影された像をシフトし、シフトした像を計算機10の画像処理によりつなぎ合わせて、広い視野の電子顕微鏡像を表示する。

請求項（抜粋）：

電子顕微鏡像を観察および記録するための撮像装置において、撮像部として信号電荷のアバランシェ増倍を用いた撮像素子を具備するとともに、該撮像部の受光面に電子顕微鏡像を結像するための光学系として、電子顕微鏡像を光像に変換するための電子/光変換用シンチレータ、該シンチレータを固定する基板、および該シンチレータで光像に変換された電子顕微鏡像を上記撮像素子の受光面に結像させるための光学レンズを具備することを特徴とする電子顕微鏡用撮像装置。

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開昭58-087731

前のページに戻る