特許
J-GLOBAL ID：200903031000587069
ガスセンサおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-026424
公開番号（公開出願番号）：特開平7-234198
出願日： 1994年02月24日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：
【要約】【目的】特性の異なるガス検出素子を複数有するガスセンサを、少種類のセンサ材料および触媒物質を用いて、簡単な製造工程で実現する。【構成】複数の同一金属酸化物半導体ガスセンサ112〜152上に、担持面積を変えて触媒物質を積層させた触媒層113〜133、134〜154を形成し、特性の異なるガス検出素子110〜150を複数形成する。担持面積を変えるだけなので、センサ材料および各触媒物質に付1度の製膜工程でよく、ガス検出素子の数だけ製膜工程を行う必要がない。
請求項（抜粋）：
複数の金属酸化物半導体検出素子(112,122,132,142,152)と、これら金属酸化物半導体検出素子の任意のものの上に検出特性が異なるように担持面積を異ならせて触媒物質を形成した少なくとも1つの触媒層(113,123,133,134,144,154)とを有するガスセンサ。
引用特許：
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