特許
J-GLOBAL ID：200903031006018252
ウェハーの静電破壊防止方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-320585
公開番号（公開出願番号）：特開平6-168927
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：
【要約】【目的】 この発明は、ウェハーに超純水を注いで洗浄等してもウェハーに静電破壊を生じさせず、かつウェハーに不都合をも生じさせないウェハーの静電破壊防止装置を提供することを目的とする。【構成】 ウェハーSの洗浄等用の超純水ライン14に、この超純水ライン14中の超純水に所定量のオゾンを溶解させるオゾン溶解装置20を取り付けた。オゾンは超純水中に溶解するとイオンを発生させるため、超純水との摩擦によってウェハーSに静電気が生じてもこの静電気を超純水とともに外部に放出し、ウェハーSへの静電気の蓄積を防止する。また、オゾンの溶解によってウェハーSに不都合を生じさせることもない。
請求項（抜粋）：
超純水で洗浄等されるウェハーが、洗浄等時に超純水との摩擦によって発生する静電気によって破壊されるのを防止するウェハーの静電破壊防止方法において、前記ウェハーの洗浄等を所定量のオゾンを溶解させた超純水で行なうことを特徴とするウェハーの静電破壊防止方法。
IPC (4件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, B08B 3/10
, C01B 13/10
