ウェーハの分離方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：江原省吾 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-112618
公開番号（公開出願番号）：特開平6-321371
出願日： 1993年05月14日
公開日（公表日）： 1994年11月22日
要約：

【要約】【目的】多数のウェーハを密着状態で積み重ねた積層体からのウェーハの分離を自動化することにある。【構成】多数の薄板状ウェーハ(1)を密着状態で積み重ねた積層体(2)から、最上層のウェーハ(1)を分離して順次一枚ずつ切り出すに際し、ウェーハ(1)の積層体(2)の上方に、二個の吸着パッド(3a)(3b)を上下動自在に配置し、両吸着パッド(3a)(3b)で最上層のウェーハ(1)の周縁部二ヶ所を真空吸着する。その上で、一方の吸着パッド(3a)を微小量上昇させると共に傾倒させることにより、その吸着パッド(3a)で保持されたウェーハ(1)の周縁部を撓ませ、ウェーハ間に間隙(m)を形成し、その間隙(m)から空気が入り込んで密着状態が開放される。その後、両方の吸着パッド(3a)(3b)を上昇させることにより、最上層のウェーハ(1)のみを分離して一枚だけ確実に切り出す。

請求項（抜粋）：

多数の薄板状ウェーハを密着状態で積み重ねた積層体から、最上層のウェーハを分離して順次一枚ずつ切り出すに際し、最上層のウェーハの周縁部をその上方から吸着して局所的に微小量だけ撓ませるようにしたことを特徴とするウェーハの分離方法。

IPC (4件)：

B65H 3/08 321 , B65G 49/07 , H01L 21/304 311 , H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-217542
包装装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-175677 出願人：株式会社クボタ
特開平2-274283

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