特許
J-GLOBAL ID：200903031010771771
平面形状計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-202429
公開番号（公開出願番号）：特開平9-049713
出願日： 1995年08月08日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、被検査物のエッジ測定の走査周期を被検査物の温度に依存せずに一定にすることができ、また、被検査物の移動距離分解能を被検査物の温度に依存せずに一定にすることができる平面形状計を提供することにある。【解決手段】 幅方向用レーザ1から出射されたレーザ光を幅方向用ポリゴンミラー3で被検査物9の表面上に幅方向に走査する。次に、幅方向用CCDカメラ5a,5bで被検査物9の表面上からの出射光および被検査物9で反射されたレーザ光の反射光を受光して幅方向に走査してビデオ信号に変換し、このビデオ信号のゲインを幅方向ゲイン調整部11で調整する。形状演算部15では、幅方向ゲイン調整部11でゲイン調整されたビデオ信号から被検査物9の幅方向のエッジ位置を求め、移動距離演算部13からの移動距離より被検査物9の形状を算出し、この被検査物9の形状データを出力するようにする。
請求項（抜粋）：
被検査物の幅方向に対応する幅間隔および該被検査物の流れ方向に対応する移動距離に基づいて該被検査物の形状を算出する平面形状計において、前記被検査物の表面に対して幅方向に光点を出射して走査する幅方向走査手段と、前記被検査物の表面を幅方向に撮像する幅方向撮像手段と、該幅方向撮像手段から出力されたビデオ信号のゲインを調整する幅方向ゲイン調整手段と、を有し、前記幅方向ゲイン調整手段から出力されたビデオ信号に基づいて前記被検査物の前記幅間隔を算出することを特徴とする平面形状計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/24 H
, G06F 15/62 400
