特許
J-GLOBAL ID：200903031014441008
基板の収納ケ-ス、基板の収納方法、および基板の輸送方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-009242
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208603
出願日： 1999年01月18日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：
【要約】【課題】 基板表面に有機物が付着することによる基板の汚染を防止できる収納ケースおよび収納方法、並びに有機物による汚染を受けない基板の輸送方法を提供する。【解決手段】 基板3が挿入される開口部15を有する本体1、上記開口部を塞ぐ蓋体2、および本体1または蓋体2の少なくとも一方に形成された基板の保持部を備えた基板の収納ケースであって、本体、蓋体および保持部は金属フィルムで形成されている。また、本体は深皿型である。また、保持部は基板の外周端部を保持し、基板と本体底部との間に空隙が形成される。また、保持部は蛇腹形状である。また、基板を収納して開口部を塞ぐ直前に本体および蓋体の少なくとも一方を加熱して活性化する。さらに、基板を収納した収納ケースを外箱に収納して基板を輸送する。
請求項（抜粋）：
基板が挿入される開口部を有する本体、上記開口部を塞ぐ蓋体、および上記本体または蓋体の少なくとも一方に形成された基板の保持部を備えた基板の収納ケースであって、上記本体、蓋体および保持部は金属フィルムで形成されていることを特徴とする基板の収納ケース。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 U
, H05K 7/14 M
5E348BB10
, 5F031DA01
, 5F031DA05
, 5F031DA11
, 5F031EA01
, 5F031EA11
, 5F031EA14
, 5F031FA03
