特許

J-GLOBAL ID：200903031019178631

ウェーハ移載動作制御装置及びそれにおけるモニタウェーハ移載位置振り分け方式

発明者： 古市 隆行 ,  松渕 義行
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 阪本 清孝 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-265534
公開番号（公開出願番号）：特開平6-087511
出願日： 1992年09月09日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：

【要約】【目的】 短時間かつ単純な作業でモニタウェーハの移載位置を均等に振り分けることのできるウェーハ移載動作制御装置及びそれにおけるモニタウェーハ移載位置振り分け方式を提供する。【構成】 作業者は操作パネル6から各種パラメータの設定を行い、メカコントローラ4でモニタウェーハが1枚、2枚、3枚以上の場合にそれぞれモニタウェーハが均等に移載されるように移載位置を計算し、更に全ウェーハの移載データを作成し、前記移載データに従って移載動作を行うウェーハ移載動作制御装置及びそれにおけるモニタウェーハ移載位置振り分け方式である。【効果】 複雑なモニタウェーハの移載位置計算や移載データ作成を自動化し、人為的ミスを無くし、移載準備時間を短縮し、装置の信頼性及び効率を向上させる効果がある。

請求項（抜粋）：

カセットからボートへウェーハを移載するウェーハ移載機の動作を移載データに従って制御するウェーハ移載動作制御装置において、前記ボートの総溝数、前記ボートに移載される上側サイドダミーウェーハの枚数、下側サイドダミーウェーハの枚数、プロセス+フィルダミーウェーハの枚数、モニタウェーハの枚数の5つのパラメータを用い、前記モニタウェーハが1枚の場合は全プロセス+フィルダミーウェーハの真ん中に前記1枚のモニタウェーハが移載されるようモニタウェーハの移載位置を算出し、前記モニタウェーハが2枚の場合は全プロセス+フィルダミーウェーハの上下に前記2枚のモニタウェーハが移載されるようモニタウェーハの移載位置を算出し、前記モニタウェーハが3枚以上の場合は全プロセス+フィルダミーウェーハの上下及び前記全プロセス+フィルダミーウェーハを残りのモニタウェーハで均等に分割した位置に前記3枚以上のモニタウェーハが移載されるようモニタウェーハの移載位置を算出して前記移載データを作成する処理手段を設けたことを特徴とするウェーハ移載動作制御装置。

IPC (3件)：

B65G 1/137 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-297925
  
• 特開平2-297925
  
• 特開平2-297925