特許

J-GLOBAL ID：200903031025076239

ドライ真空ポンプ

発明者： 谷山 実
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-130051
公開番号（公開出願番号）：特開平8-319985
出願日： 1995年05月29日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【構成】吸込口1と吐出口2を有するケーシング3内には軸受6によって支承されたモータ7により駆動されるロータ4と、ロータ4を囲むように取付けられたステータ5とからなるポンプ機構部8があり、外部より軸封部9にシールガスを供給する。ポンプ機構部8の最終段ステータ5には環状溝13と複数の放射溝が設けられる。【効果】ポンプ機構部の最終段に環状溝と複数の放射溝を設けたので、最終段ロータとステータ間のポンプ作用が緩和され、反応生成物を含むガスの流入を妨げ、ステータへの反応生成物の付着を防止する。

請求項（抜粋）：

吸込口と吐出口を有するケーシング内にロータおよびステータを収納したポンプ機構部と、前記ポンプ機構部の下方に設けられ、ポンプ外部からシールガスを供給される軸封部とを有し、前記吸込口から吸込まれたガスが前記吐出口から大気へ排気される真空ポンプにおいて、前記ポンプ機構部の最終段ステータに環状溝と複数の放射溝を設けたことを特徴とするドライ真空ポンプ。