特許
J-GLOBAL ID：200903031032321885
指令値の決定方法及びステージ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-318654
公開番号（公開出願番号）：特開平10-144601
出願日： 1996年11月14日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 ステージを高加速度で移動させる際の定盤(除振台)の揺動を減少させる。【解決手段】 図5(A)に実線で示される推力指令値に基づいてステージの移動を制御する。このため、図5(C)のようにステージの移動開始時は、ステージに作用する推力Aの反力により、定盤がステージと反対方向(負の方向)に揺動し、この直後に定盤は正の方向に揺動するが、Bの負の指令値により定盤の正の揺動が加速され、これにより、定盤は早く初期位置へ戻る。その直後に定盤は初期位置でその揺動速度が零となる。このため、図5(C)のように、定盤は1周期分の揺動後に直ちに停止し、しかも初期位置へは従来より早く戻るので、ステージを高加速度で移動させる際にも定盤の揺動を減少させることができる。
請求項（抜粋）：
除振台上で移動するステージに対する指令値の決定方法であって、前記ステージ及び除振台を含む装置本体の振動周期を考慮して、前記ステージの移動開始直後の除振台の前記ステージ運動方向及びその反対方向の少なくとも一方の方向の除振台の揺動が加速され、その直後に前記除振台の初期位置でその揺動速度が零となるように前記ステージに対する指令値を決定することを特徴とする指令値の決定方法。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, B23Q 1/30
, G03F 9/00
, H01L 21/68
H01L 21/30 503 F
, B23Q 1/30
, G03F 9/00 H
, H01L 21/68 K
