特許

J-GLOBAL ID：200903031037125502

透明導電膜およびその製造方法

発明者： 生田 茂雄 ,  古山 静夫 ,  畑瀬 博
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-007053
公開番号（公開出願番号）：特開平9-194233
出願日： 1996年01月19日
公開日（公表日）： 1997年07月29日
要約：

【要約】【課題】 本発明はITO微粒子から構成される透明導電膜およびその製造方法に関するもので、低抵抗で、高温、高湿環境においても特性変動の少ない信頼性に優れた透明導電膜およびその製造方法を安価に提供することを目的とする。【解決手段】 ITO微粒子を樹脂および有機溶剤に分散させたものを基板11上に塗布し、乾燥後、焼成を行ってITO微粒子からなる膜12を形成し、その上に金属化合物の溶液を塗布し、乾燥後、焼成を行って膜12の空孔を埋めるように金属酸化物13を形成して、ガスや水分の影響を受けにくい信頼性に優れた透明導電膜14を得る。

請求項（抜粋）：

インジウム錫酸化物微粒子からなる膜と、前記膜中の空孔を埋める金属酸化物とで構成された透明導電膜。

IPC (5件)：

C03C 17/25 ,  C23C 22/74 ,  C23C 30/00 ,  H01B 5/14 ,  H01B 13/00 503

FI (5件)：

C03C 17/25 A ,  C23C 22/74 ,  C23C 30/00 C ,  H01B 5/14 A ,  H01B 13/00 503 C