静電容量型のサファイヤダイヤフラム圧力センサおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：社本一夫 , 増井忠弐 , 小林泰 , 千葉昭男 , 富田博行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-293569
公開番号（公開出願番号）：特開2005-062031
出願日： 2003年08月14日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：

【課題】検出用液体の温度等により圧力伝達係数が変化して発生する温度ドリフトの影響を回避できる、検出精度の高い、静電容量型のサファイヤダイヤフラム圧力センサおよびその製造方法を提供する。【解決手段】サファイヤダイヤフラム圧力センサは、サファイヤダイアフラムを対向配置させ、サファイヤダイアフラムのそれぞれ対向側に蒸着電極を形成した受圧部(10A,30A)とファイヤダイアフラムの表面の一部に金属を蒸着した固定部分を備えた圧力検出部材(10,30)と、圧力検出部材の固定部分において圧力検出部材を固定するための金属架台(11,31)と、金属を蒸着した固定部分と前記金属架台との間をシールする導電性シール剤(13,33)と、少なくとも前記導電性シール剤を、圧力を検出すべき媒体から保護するためのニッケル保護材(14,34)と、を備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

サファイヤダイアフラムを対向配置させ、該サファイヤダイアフラムのそれぞれ対向側に蒸着電極を形成した受圧部と、前記ファイヤダイアフラムの表面の一部に金属を蒸着した固定部分を備えた圧力検出部材と、前記圧力検出部材の固定部分において圧力検出部材を固定するための金属架台と、前記金属を蒸着した固定部分と前記金属架台との間をシールする導電性シール剤と、少なくとも前記導電性シール剤を、圧力を検出すべき媒体から保護するためのニッケル保護材と、を備え、検出されるべき媒体の圧力が、前記受圧部に伝達され、対向配置された前記サファイヤダイアフラムのそれぞれ対向側に形成された蒸着電極の間隙距離の変化による静電容量変化を生じさせるように構成されたことを特徴とする静電容量型のサファイヤダイヤフラム圧力センサ。

IPC (1件)：

G01L9/12

FI (1件)：

G01L9/12

Fターム (8件)：

2F055AA39 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD19 , 2F055EE25 , 2F055FF01 , 2F055GG01 , 2F055GG11

引用特許：

審査官引用 (5件)

圧力センサの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-069738 出願人：アネルバ株式会社
特表平2-503356
特開昭61-136699

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