特許

J-GLOBAL ID：200903031054327038

基材上にフィルムを形成する方法及び装置

発明者： ギルス,キャサリン ,  ビークマン,ナット ,  ドブソン,クリストファー デイビッド ,  マックネイル,ジョン ,  ウィルビー,アントニー ポール
出願人/特許権者： トリコン ホールディングス リミティド
代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-506599
公開番号（公開出願番号）：特表2003-503849
出願日： 2000年06月26日
公開日（公表日）： 2003年01月28日
要約：

【要約】基材上にフィルムを製造する方法及び装置。本発明は、基材上にフィルムを製造する方法及び装置に関する。この方法は、気体又は蒸気のケイ素含有有機化合物及び酸化剤を、プラズマの存在下で容器に供給して、基材上にフィルムを堆積させ、そして炭素含有基がフィルム内に保持されるようにしてフィルムを硬化させることを含む。特定の態様では、フィルムの硬化はH2プラズマにフィルムを露出させることによって行う。

請求項（抜粋）：

(a)容器内の支持体に基材を配置すること、 (b)気体又は蒸気のケイ素含有有機化合物及び酸化剤を、プラズマの存在下で前記容器に供給し、前記基材上にフィルムを堆積させること、並びに (c)炭素含有基がフィルム内に保持されるようにして、フィルムを硬化させること、を含む、基材上にフィルムを形成する方法。

IPC (4件)：

H01L 21/316 ,  C23C 16/42 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/31

FI (4件)：

H01L 21/316 P ,  C23C 16/42 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/31 C

Fターム (34件)：

4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030BA27 ,  4K030BA29 ,  4K030BA48 ,  4K030CA04 ,  4K030EA04 ,  4K030JA01 ,  4K030JA10 ,  4K030JA20 ,  5F045AA08 ,  5F045AB32 ,  5F045AC07 ,  5F045AC11 ,  5F045AC15 ,  5F045AD04 ,  5F045AE21 ,  5F045AF03 ,  5F045BB16 ,  5F045DC63 ,  5F045EE14 ,  5F045EE17 ,  5F045EF05 ,  5F045EH19 ,  5F045HA11 ,  5F058BA20 ,  5F058BC02 ,  5F058BF07 ,  5F058BF27 ,  5F058BF37 ,  5F058BF39 ,  5F058BH01 ,  5F058BH16 ,  5F058BJ02