特許

J-GLOBAL ID：200903031055834057

モノリシック・ステージ

発明者： アンドリュー・ジェイ・ヘイゼルトン
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-118192
公開番号（公開出願番号）：特開2002-008973
出願日： 2001年04月17日
公開日（公表日）： 2002年01月11日
要約：

【要約】【課題】 比較的小さな質量と、比較的高い共振周波数と、比較的高いサーボ帯域幅を持つステージを備えるステージ組立体を提供する。【解決手段】 装着フレーム14と、対象物24を保持するためのものであって、装着フレーム14に対してX軸に沿って、またX軸とほぼ直交するY軸に沿って移動できるとともに、X軸およびY軸とほぼ直交するZ軸回りに移動できるモノリシックなステージ・フレーム16とを備える。

請求項（抜粋）：

対象物を移動することができるステージ組立体であって、装着フレームと、前記対象物を保持するためのものであって、前記装着フレームに対してX軸に沿って、また前記X軸とほぼ直交するY軸に沿って移動できるとともに、前記X軸および前記Y軸とほぼ直交するZ軸回りに移動できるモノリシックなステージ・フレームとを備えるステージ組立体。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

G12B 5/00 T ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 A

Fターム (11件)：

2F078CA02 ,  2F078CA08 ,  2F078CB13 ,  5F031CA02 ,  5F031HA57 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046CC18 ,  5F046CC19