特許
J-GLOBAL ID:200903031060570475
光導波路素子
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
杉村 暁秀 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-055834
公開番号(公開出願番号):特開2001-059951
出願日: 2000年03月01日
公開日(公表日): 2001年03月06日
要約:
【要約】【課題】基板の少なくとも電極が形成されている部分の厚さを相対的に小さくしてなる薄肉部分を有する光導波路素子の基板の割れを防止する。【解決手段】光導波路2、電極3、及びバッファ層6を有し、凹部4によって形成された薄肉部分5を有する基板1の側面1C及び1Dに、それぞれ第1の基板電極7-1及び第2の基板電極7-2を形成する。さらに、凹部4の側面4A及び4Bに、それぞれ第1の凹部電極8-1及び第2の凹部電極8-2を形成する。そして、第1の基板電極7-1と第1の凹部電極8-1とを導線9-1によって電気的に接続し、第2の基板電極7-2と第2の凹部電極8-2とを導線9-2によって電気的に接続することによって、基板1の側面1C及び1D、並びに凹部4の側面4A及び4Bに発現する焦電電荷を打ち消す。
請求項(抜粋):
相対向する一対の主面及び相対向する一対の側面を具えた電気光学効果を有する基板と、この基板の一方の主面に形成された光導波路と、この光導波路を導波する光波に変調信号を印加するための電極とを具え、前記基板の少なくとも前記電極が位置する部分に相対的に厚さが小さい薄肉部分が設けられるとともに、この薄肉部分と前記基板の他方の主面との間に凹部が形成された光導波路素子であって、前記相対向する一対の側面のそれぞれに第1の導電部が形成され、前記凹部内に第2の導電部が形成されるとともに、前記第1の導電部及び前記第2の導電部を電気的に接続する接続手段を具えていることを特徴とする、光導波路素子。
Fターム (13件):
2H079AA02
, 2H079BA01
, 2H079CA04
, 2H079DA03
, 2H079DA22
, 2H079EA03
, 2H079EA24
, 2H079EB05
, 2H079HA11
, 2H079HA15
, 2H079HA21
, 2H079JA05
, 2H079JA07
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