原子間力顕微鏡用探針およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-006187
公開番号（公開出願番号）：特開平8-193941
出願日： 1995年01月19日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：

【要約】【目的】アスペクト比の大きな試料表面の形状を高精度に計測できる走査プローブ顕微鏡用探針を再現性良く大量に製造する方法を提供することを目的とした。【構成】一端が梁支持部3で固定されている片持ち梁2の他端部に針状結晶1を化学反応気相成長法で成長させることにより得た。【効果】半導体プロセスを用い、針状結晶を探針とするアスペクト比の大きな探針有するカンチレバーを、半導体基板中に多数、再現性良く製作することができる。

請求項（抜粋）：

一端が梁支持部に固定されている片持ち梁の他端部に針状結晶を有することを特徴とする原子間力顕微鏡用探針。

IPC (4件)：

G01N 13/00 , G01B 21/30 , G01N 37/00 , H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-236272
特開昭59-175273

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