特許
J-GLOBAL ID:200903031078038088
ポジ型感光性絶縁樹脂組成物およびその硬化物
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴木 俊一郎 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-014307
公開番号(公開出願番号):特開2003-215789
出願日: 2002年01月23日
公開日(公表日): 2003年07月30日
要約:
【要約】【解決手段】 本発明におけるポジ型感光性絶縁樹脂組成物は、フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂(A)、キノンジアジド基を有する化合物(B)、架橋微粒子(C)、分子中に少なくとも2つ以上のアルキルエーテル化されたアミノ基を含有する化合物(D)、および溶剤(E)を含有することを特徴としている。また、本発明の硬化物はこのようなポジ型感光性絶縁樹脂組成物を硬化してなることを特徴としている。【効果】 本発明によれば、解像性、電気絶縁性、熱衝撃性に優れるとともに、良好な密着性を有する硬化物が得られるポジ型感光性絶縁樹脂組成物を得ることができる。
請求項(抜粋):
(A)フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂、(B)キノンジアジド基を有する化合物、(C)架橋微粒子、(D)分子中に少なくとも2つ以上のアルキルエーテル化されたアミノ基を有する化合物、および(E)溶剤を含有することを特徴とするポジ型感光性絶縁樹脂組成物。
IPC (3件):
G03F 7/004 501
, G03F 7/022
, H01L 21/312
FI (3件):
G03F 7/004 501
, G03F 7/022
, H01L 21/312 D
Fターム (19件):
2H025AA02
, 2H025AA10
, 2H025AA13
, 2H025AA14
, 2H025AA20
, 2H025AB16
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025CB28
, 2H025CC03
, 2H025CC08
, 2H025CC17
, 5F058AA03
, 5F058AC07
, 5F058AC10
, 5F058AD01
, 5F058AF04
, 5F058AG09
, 5F058AH03
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