特許

J-GLOBAL ID：200903031082609200

石英ルツボに融着した残留多結晶シリコンの回収方法と装置

発明者： 石渡 正治 ,  神田 稔 ,  伊藤 杉夫
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 大家 邦久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-078412
公開番号（公開出願番号）：特開平10-273310
出願日： 1997年03月28日
公開日（公表日）： 1998年10月13日
要約：

【要約】【課題】 シリコン単結晶引上げ後の石英ルツボに融着した残留多結晶シリコンを該ルツボから分離・回収する方法及び装置を提供する。【解決手段】 シリコン単結晶引上げ後の残留多結晶シリコンが融着した石英ルツボ片を耐熱容器に装入し、不活性ガス雰囲気下、シリコン融点以上であって石英融点以下の温度に加熱し、溶融した残留多結晶シリコンを前記耐熱容器の底部に設けた直径2〜10mmの通過孔から滴下せしめ、同雰囲気中冷却固化し、多結晶シリコンを粒状にて回収する方法、およびその回収装置。

請求項（抜粋）：

シリコン単結晶引上げ後の石英ルツボに融着した残留多結晶シリコンを、不活性ガス雰囲気下、シリコン融点以上であって石英融点以下の温度に加熱して石英ルツボから溶融分離することを特徴とする残留多結晶シリコンの回収方法。

IPC (3件)：

C01B 33/02 ,  C30B 15/00 ,  C30B 29/06 502

FI (3件)：

C01B 33/02 E ,  C30B 15/00 Z ,  C30B 29/06 502 Z