特許
J-GLOBAL ID：200903031083934610
均一走査エネルギー生成用の視野ミラーを備えた照明システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邊 隆 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-052551
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252208
出願日： 2000年02月28日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、波長193nm以下でのスキャニングリソグラフィー、特にEUVリソグラフィーのための、スリットを照明する照明システムであって、光源と、少なくとも1つの視野ミラーまたは視野レンズとを包含しているものを提供する。【解決手段】 本発明は、1つまたは複数の視野ミラーまたは視野レンズが、焦点板平面における照明された視野が走査方向に対して垂直にディストーションされるように形成されていることによって特徴づけられる。
請求項（抜粋）：
波長193nm以下での走査リソグラフィー、特にEUVリソグラフィーのためのスリットを照明する照明システムであって、1.1 光源と、1.2 少なくとも1つの視野ミラーまたは視野レンズと、1.3 像平面と、を包含している照明システムにおいて、1.4 1つまたは複数の視野ミラーまたは視野レンズが、照明された視野が像平面において走査方向に垂直な方向で歪められるように形成されていることを特徴とする照明システム。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/30 517
, G03F 7/207 H
, H01L 21/30 515 D
