特許

J-GLOBAL ID：200903031086138490

画像計測装置及び画像計測方法

発明者： 青木 雅弘
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-289946
公開番号（公開出願番号）：特開平9-133513
出願日： 1995年11月08日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、ICチップ上の被測定物を画像認識する場合に、当該被測定物上の保護膜の厚さよらず画像認識を可能とする。【解決手段】 被測定物の形状を画像認識する画像計測装置において、被測定物が被覆物に覆われたものである場合に、被測定物を照射する光の波長域を赤外領域とする画像計測装置。

請求項（抜粋）：

被測定物の形状を画像認識する画像計測装置において、前記被測定物が被覆物に覆われたものである場合に、前記被測定物を照射する光の波長域を赤外領域とすることを特徴とする画像計測装置。

IPC (4件)：

G01B 11/00 ,  G06T 7/00 ,  G06T 1/00 ,  H01L 21/60 301

FI (4件)：

G01B 11/00 H ,  H01L 21/60 301 L ,  G06F 15/62 405 B ,  G06F 15/64 325 G