表面欠陥検出における疵種分類境界設定方法、及び欠陥検出方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：細江利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-320592
公開番号（公開出願番号）：特開2004-109105
出願日： 2002年11月05日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：

【課題】特殊な技術をもたないオペレータでも簡便に複雑な欠陥分類が実現され、労力が大幅に削減されるとともに操業状態の変化に迅速に対応した評価が可能となるような表面欠陥検出における疵種分類境界設定方法を提供する。【解決手段】疵種毎の特徴量データを入力し(ステップS11〜S14)、疵種毎の混合密度分布のパラメータ(平均ベクトル、共分散行列、結合係数)を求める(ステップS15)、そして、求められた疵毎混合密度分布に基づいて、ベイズの定理を使用して、疵毎の識別境界決定を決定する(ステップS16)、そして、その判断の確からしさの算出(ステップS17)を行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

学習用の疵データを採取し、N次元の特徴量空間を占める複数の疵種のカテゴリについて、それぞれにN次元正規分布の混合密度分布を仮定し、これを特徴づける平均ベクトル、共分散行列、結合係数などのパラメータを、前記学習用疵データにフィッティングするようにEMアルゴリズムによる収束によって決定し、決定された各疵のカテゴリ毎のN次元正規分布の混合密度分布に基づいて、ベイズの定理を使用して、表面欠陥検出における疵種分類境界を決定する過程を含むことを特徴とする表面欠陥検出における疵種分類境界設定方法。

IPC (6件)：

G01N21/88 , B21C51/00 , G01B21/30 , G01N21/892 , G06T1/00 , G06T7/00

FI (6件)：

G01N21/88 J , B21C51/00 P , G01B21/30 , G01N21/892 B , G06T1/00 300 , G06T7/00 350A

Fターム (76件)：

2F065AA49 , 2F065AA61 , 2F065BB13 , 2F065BB15 , 2F065CC06 , 2F065DD06 , 2F065FF41 , 2F065GG03 , 2F065JJ02 , 2F065JJ25 , 2F065LL02 , 2F065LL08 , 2F065QQ00 , 2F065QQ03 , 2F065QQ17 , 2F065QQ21 , 2F065QQ24 , 2F065QQ26 , 2F065QQ27 , 2F065QQ42 , 2F065RR05 , 2F069AA60 , 2F069BB19 , 2F069BB34 , 2F069CC06 , 2F069DD15 , 2F069DD16 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069JJ02 , 2F069NN16 , 2F069NN25 , 2F069NN26 , 2G051AA37 , 2G051AB02 , 2G051AB07 , 2G051BA20 , 2G051BB17 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CA11 , 2G051CA12 , 2G051DA01 , 2G051DA06 , 2G051EA14 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051EC01 , 2G051EC02 , 2G051EC03 , 2G051ED07 , 2G051FA10 , 5B057AA17 , 5B057BA02 , 5B057DA03 , 5B057DA12 , 5B057DB02 , 5B057DB09 , 5B057DC03 , 5B057DC19 , 5B057DC36 , 5B057DC40 , 5L096AA06 , 5L096BA03 , 5L096CA02 , 5L096FA32 , 5L096FA33 , 5L096FA34 , 5L096FA35 , 5L096FA64 , 5L096GA30 , 5L096GA51 , 5L096HA09 , 5L096JA22 , 5L096KA04 , 5L096MA07

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